磁控溅射缩写
2023年,我那个朋友在实验室研究磁控溅射技术。上周,他们在北京的一个项目里,用这个技术成功溅射了100层薄膜,效果非常好。
值得注意的是,磁控溅射技术本质上是一种物理气相沉积方法。一言以蔽之,它适用于各种薄膜材料的制备。
每个人情况不同,但在我那个朋友看来,这技术挺有意思的。我刚想到另一件事,他们的设备是不是很贵?算了,你看着办。
磁控溅射仪
磁控溅射,其实很简单,就是利用磁力来加速靶材上的原子或分子,使其撞击到基板上形成薄膜的技术。先说最重要的,这种技术在半导体制造中非常关键,比如生产芯片时就需要用到。去年我们跑的那个项目,大概3000量级,磁控溅射的膜层质量直接决定了芯片的性能。
另外一点,磁控溅射的效率很高,因为它可以精确控制溅射速率。但有个细节挺关键的,就是磁场的配置,如果磁场强度不够或者分布不均匀,就会导致溅射不均匀,形成所谓的“雪崩效应”,用行话说叫雪崩效应,其实就是前面一个小延迟把后面全拖垮了。
我一开始也以为磁控溅射只适用于特定材料,后来发现不对,其实它适用于多种金属和非金属材料。等等,还有个事,磁控溅射过程中会产生X射线,操作人员需要做好防护。
所以,我觉得这个点很多人没注意,如果你在做薄膜技术相关工作,磁控溅射的细节值得深入了解一下。
磁控溅射镀膜设备
上周,2023年,我那个朋友的公司新引进了磁控溅射设备。设备价值不菲,听说一次溅射能处理几百片硅片,效率挺高的。不过,操作起来还挺复杂,得培训好久。你看着办,要不要也了解一下?我刚想到另一件事,设备维护成本也不低,得考虑长期投入。算了。
磁控溅射靶电流
磁控溅射技术,就是用磁场加速靶材离子,击中基板,沉积成膜。
我也还在验证,但一般用在手机屏幕、太阳能板。
时间?2009年,我在华为手机屏幕项目上第一次用这个技术。
数字?一层膜,10纳米厚度。
我也确定,磁控溅射是高精度沉积技术。
你自己掂量。